应用说明:利用长行程 Z 轴,可以堆叠有高度的工件。
POINT
使用水平多关节机器人可以准标准支持 Z 轴长行程。
YK250XH~400XH Z 轴行程准标准为 300mm。
YK500XG~600XGH Z 轴行程准标准为 600mm。
YK700XG~1000XG Z 轴行程准标准为 800mm。
使用水平多关节机器人,具有 X、Y 轴速度快和节省设置空间的优点。
使用规格:
晶圆用光罩搬运
应用说明:用装料机替换晶圆光罩。
POINT
采用洁净型规格 + 翻转结构,驱动部设置在工件下方。
使用圆柱坐标型机器人时,须安装行驶轴,如果是水平多关节机器人,则只需进行直线补偿,就可以使用固定型。